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Réacteur HYBRIDE

Réacteur HYBRIDE

  • 4 magnétrons plans de parois
  • 4 sources d’arc
  • Dépôt par arc cathodique
  • Porte substrats triple rotation
  • Gestion automatisée de recettes

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Développement de revêtements HPPMS pour le nucléaire

Développement de revêtements arc pour l’usinage et le nucléaire

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