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Réacteur HYBRIDE

Réacteur HYBRIDE

  • 2 magnétrons plans de parois (+ 2 emplacements disponibles)
  • 4 sources c’arc
  • DC/DC-Pulsé, HPPMS, Arc
  • Porte substrats triple rotation
  • Gestion automatisée de recettes

Développement de revêtements HPPMS pour le nucléaire

Développement de revêtements arc pour l’usinage et le nucléaire

Nos réalisations

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