Réacteur PERKIN
- 3 magnétrons diam 8’’
- Porte substrat polarisable diam 600 mm
- Contrôle en boucle fermée
- Mesure in-situ de la couleur
- DC/DC-Pulsé, HPPMS
Revêtements colorés (interférentiel, subsitut à l’or …)
Développement de revêtement à façon (TiAI, Nb, Ga …)
