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Réacteur PERKIN

Réacteur Perkin

  • 3 magnétrons diam 8’’
  • Porte substrat polarisable diam 600 mm
  • Mesure in-situ de la couleur
  • Travail en RF (Radio Fréquence) possible

Traitements Mono-face, sur pièces 2D

Dépôts complexes sur plaquettes optiques

Revêtements colorés (interférentiel, subsitut à l’or …)

Développement de revêtement à façon (TiAI, Nb, Ga …)

 

Nos réalisations

Découvrez les réalisations et conceptions de machines DEPHIS.