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Réacteur PROD’400

Réacteur PROD'400

  • 2 magnétrons plans 500×150 mm
  • DC/DC-pulsé, RF
  • Système triode pour décapage in-situ
  • 5 Lignes de gaz

TECHNOLOGIES PVD ET CVD

Revêtements à gradient de composition

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Petite série, Formes complexes

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